La spectroscopie dispersive d’énergie (EDS) identifie la composition élémentaire des matériaux imagés au microscope électronique à balayage pour tous les éléments ayant un numéro atomique supérieur au bore. La plupart des éléments sont détectés à des concentrations de l’ordre de 0,1%.,nants
principe de fonctionnement
lorsque le faisceau d’électrons du SEM est balayé sur la surface de l’échantillon, il génère une fluorescence de rayons x à partir des atomes sur son trajet., L’énergie de chacun des photons X est caractéristique de l’élément qui l’a produite. Le système de microanalyse EDS recueille les rayons X, les trie et les trace par énergie, et identifie et étiquette automatiquement les éléments responsables des pics de cette distribution d’énergie.
généralement, les données EDS sont comparées à des normes connues ou générées par ordinateur pour produire une analyse quantitative complète montrant la composition de l’échantillon.
la sortie des données comprend des diagrammes du spectre d’origine, montrant le nombre de rayons X collectés à chaque énergie., Des cartes des distributions des éléments sur les zones d’intérêt et des tableaux de composition quantitative peuvent également être produits.