La spettroscopia dispersiva di energia (EDS) identifica la composizione elementare dei materiali immaginati in un microscopio elettronico a scansione per tutti gli elementi con un numero atomico maggiore del boro. La maggior parte degli elementi viene rilevata a concentrazioni dell’ordine dello 0,1 percento.,nants
Principio di Funzionamento
Come il fascio di elettroni del SEM è acquisita attraverso la superficie del campione, genera fluorescenza di raggi X da atomi nel suo percorso., L’energia di ciascun fotone a raggi X è caratteristica dell’elemento che lo ha prodotto. Il sistema di microanalisi EDS raccoglie i raggi X, li ordina e li traccia per energia e identifica automaticamente ed etichetta gli elementi responsabili dei picchi in questa distribuzione di energia.
In genere i dati EDS vengono confrontati con standard noti o generati al computer per produrre un’analisi quantitativa completa che mostri la composizione del campione.
L’output dei dati include grafici dello spettro originale, che mostrano il numero di raggi X raccolti ad ogni energia., Si possono anche produrre mappe delle distribuzioni di elementi su aree di interesse e tabelle di composizione quantitativa.