spektroskopia dyspersyjna energii (EDS) identyfikuje skład pierwiastkowy materiałów obrazowanych w skaningowym mikroskopie elektronowym dla wszystkich pierwiastków o liczbie atomowej większej niż Bor. Większość pierwiastków wykrywa się w stężeniach rzędu 0,1 procent.,nants
zasada działania
ponieważ wiązka elektronów sem jest skanowana przez powierzchnię próbki, generuje ona fluorescencję rentgenowską z atomów znajdujących się na jej drodze., Energia każdego fotonu rentgenowskiego jest charakterystyczna dla pierwiastka, który go wyprodukował. System mikroanalizy EDS zbiera promienie rentgenowskie, sortuje je i wykresuje według energii, a następnie automatycznie identyfikuje i etykietuje elementy odpowiedzialne za szczyty w tym rozkładzie energii.
Zazwyczaj dane EDS są porównywane ze znanymi lub generowanymi komputerowo standardami, aby uzyskać pełną analizę ilościową pokazującą skład próbki.
dane wyjściowe obejmują wykresy oryginalnego widma, pokazując liczbę promieni rentgenowskich zebranych przy każdej energii., Można również tworzyć mapy rozkładu pierwiastków na obszary zainteresowania oraz tabele składu ilościowego.