dispersie de Energie spectroscopie (EDS) identifică compoziția elementală a materialelor de imaginat într-un microscop electronic de scanare pentru toate elementele cu numărul atomic mai mare de bor. Majoritatea elementelor sunt detectate la concentrații de ordinul a 0,1%.,nants
Principiul de Funcționare
Ca fascicul de electroni de SEM este scanat pe suprafata probei, se generează fluorescență de raze X din atomi în calea sa., Energia fiecărui foton cu raze X este caracteristică elementului care la produs. Sistemul de microanaliză EDS colectează razele X, le sortează și le trasează prin Energie și identifică și etichetează automat elementele responsabile pentru vârfurile acestei distribuții de energie.
De obicei, datele EDS sunt comparate fie cu standardele cunoscute, fie cu cele generate de computer pentru a produce o analiză cantitativă completă care arată compoziția eșantionului.
producția de date include parcele ale spectrului original, care arată numărul de raze X colectate la fiecare energie., De asemenea, pot fi produse hărți ale distribuțiilor elementelor pe domenii de interes și tabele cantitative de compoziție.