Energetické disperzní spektroskopie (EDS) určuje elementární složení materiálů zobrazen v rastrovací elektronový mikroskop pro všechny prvky s atomovým číslem vyšším než bor. Většina prvků je detekována v koncentracích v řádu 0,1 procenta.,nants
Princip
Jako elektronový paprsek SEM je snímán po povrchu vzorku, generuje X-ray fluorescence z atomů v cestě., Energie každého rentgenového fotonu je charakteristická pro prvek, který ho produkoval. Systém mikroanalýzy EDS shromažďuje rentgenové záření, třídí a vykresluje je energií a automaticky identifikuje a označuje prvky odpovědné za vrcholy v této distribuci energie.
Obvykle EDS údaje jsou v porovnání s buď známá, nebo počítač-vytvořené normy, aby produkovat plný kvantitativní analýza ukazuje, že složení vzorku.
výstup dat zahrnuje grafy původního spektra, které ukazují počet rentgenových paprsků shromážděných při každé energii., Lze také vytvořit mapy rozdělení prvků v oblastech zájmu a kvantitativní tabulky složení.