Energy Dispersive spectroscopy (EDS) identifiziert die Elementzusammensetzung von Materialien, die in einem Rasterelektronenmikroskop für alle Elemente mit einer Ordnungszahl größer als Bor abgebildet sind. Die meisten Elemente werden in Konzentrationen in der Größenordnung von 0,1 Prozent nachgewiesen.,nants
Funktionsprinzip
Wenn der Elektronenstrahl des SEM über die Probenoberfläche gescannt wird, erzeugt er Röntgenfluoreszenz von den Atomen in seinem Weg., Die Energie jedes Röntgenphotons ist charakteristisch für das Element, das es erzeugt hat. Das EDS-Mikroanalysesystem sammelt die Röntgenstrahlen, sortiert und zeichnet sie nach Energie und identifiziert und kennzeichnet automatisch die Elemente, die für die Peaks in dieser Energieverteilung verantwortlich sind.
Typischerweise werden EDS-Daten entweder mit bekannten oder computergenerierten Standards verglichen, um eine vollständige quantitative Analyse zu erstellen, die die Probenzusammensetzung zeigt.
Die Datenausgabe umfasst Diagramme des ursprünglichen Spektrums, die die Anzahl der bei jeder Energie gesammelten Röntgenstrahlen anzeigen., Es können auch Karten der Elementverteilungen über Interessengebiete und quantitative Zusammensetzungstabellen erstellt werden.