la espectroscopia de dispersión de energía (EDS) identifica la composición elemental de los materiales fotografiados en un microscopio electrónico de barrido para todos los elementos con un número atómico mayor que el boro. La mayoría de los elementos se detectan en concentraciones del orden del 0,1 por ciento.,nants
principio de funcionamiento
a medida que el haz de electrones del sem se escanea a través de la superficie de la muestra, genera fluorescencia de rayos X de los átomos en su camino., La energía de cada fotón de rayos X es característica del elemento que lo produjo. El sistema de microanálisis EDS recoge los rayos X, los clasifica y los traza por energía, e identifica y etiqueta automáticamente los elementos responsables de los picos en esta distribución de energía.
normalmente los datos EDS se comparan con estándares conocidos o generados por computadora para producir un análisis cuantitativo completo que muestra la composición de la muestra.
la salida de datos incluye gráficos del espectro original, que muestran el número de rayos X recogidos en cada energía., También se pueden producir mapas de distribuciones de elementos sobre áreas de interés y tablas de composición cuantitativa.