Energy dispersive spectroscopy (EDS) tunnistaa alkuaine koostumuksen materiaalien kuvaamisen pyyhkäisyelektronimikroskoopilla kaikki alkuaineet, joiden atominumero on suurempi kuin boori. Useimmat alkuaineet havaitaan pitoisuuksina 0,1 prosentin luokkaa.,nants
toimintaperiaate
Kuin elektronisuihku-SEM on skannattu koko näytteen pinta, se tuottaa X-ray fluoresenssi päässä atomien tieltään., Jokaisen röntgenfotonien energia on sen tuottaneelle alkuaineelle ominainen. EDS microanalysis järjestelmä kerää X-säteet, lajittelee ja tontteja heille energiaa, ja automaattisesti tunnistaa ja tarrat elementtejä vastuussa huiput tässä energian jakelu.
Tyypillisesti EDS tietoja verrataan joko tiedetään tai tietokoneella luotuja standardeja tuottaa täyden määrällinen analyysi osoittaa, että näytteen koostumus.
data output sisältää alkuperäisen spektrin havaintoalat, joista käy ilmi kustakin energiasta kerättyjen röntgensäteiden määrä., Lisäksi voidaan laatia karttoja kiinnostavien alueiden elementtijakaumista ja kvantitatiivisia koostumustaulukoita.