Energia diszperzív spektroszkópia (EDS) azonosítja az elemi összetétele anyagok beolvasása a pásztázó elektronmikroszkóp minden elem atomi száma nagyobb, mint a bór. A legtöbb elemet 0,1% – os koncentrációban észlelik.,nants
működési Elve
a elektronsugaras a sém beolvasott át a minta felülete, ez generál a röntgen-fluoreszcencia az atomok, ami az útjába kerül., Az egyes röntgen fotonok energiája jellemző az azt előállító elemre. Az EDS mikroanalízis rendszer összegyűjti a röntgensugarakat, energiával rendezi és parcellázza őket, és automatikusan azonosítja és címkézi az energiaeloszlás csúcsaiért felelős elemeket.
általában az EDS-adatokat összehasonlítják az ismert vagy a számítógép által generált szabványokkal, hogy teljes mennyiségi elemzést készítsenek a minta összetételéről.
az adatkimenet tartalmazza az eredeti spektrum parcelláit, bemutatva az egyes energiákon gyűjtött röntgensugarak számát., Az elemeloszlások térképei az érdeklődésre számot tartó területeken, valamint a mennyiségi összetétel táblázatok is elkészíthetők.