Energiedispersieve spectroscopie (EDS) identificeert de elementaire samenstelling van materialen afgebeeld in een scanning-elektronenmicroscoop voor alle elementen met een atoomnummer groter dan boor. De meeste elementen worden gedetecteerd bij concentraties in de orde van 0,1 procent.,nants
Werking
Als de elektronenbundel van de SEM wordt gescand aan de overkant van de monster oppervlak, het genereert X-ray fluorescentie van de atomen in de weg., De energie van elk Röntgenfoton is kenmerkend voor het element dat het produceerde. Het EDS-microanalysesysteem verzamelt de röntgenfoto ‘ s, sorteert ze en zet ze op energie, en identificeert en labelt automatisch de elementen die verantwoordelijk zijn voor de pieken in deze energiedistributie.
gewoonlijk worden EDS-gegevens vergeleken met bekende of door de computer gegenereerde standaarden om een volledige kwantitatieve analyse te produceren die de monstersamenstelling toont.
de gegevensuitvoer omvat plots van het oorspronkelijke spectrum, met het aantal röntgenstralen dat bij elke energie wordt verzameld., Er kunnen ook kaarten worden gemaakt van de verdeling van elementen over interessante gebieden en kwantitatieve samenstellingstabellen.