energidispersiv spektroskopi (EDS) identifierar den elementära sammansättningen av material som avbildas i ett skannande elektronmikroskop för alla element med ett atomnummer större än bor. De flesta element detekteras vid koncentrationer i storleksordningen 0,1 procent.,elementära diffusionsprofiler
funktionsprincip
eftersom sem: s elektronstråle skannas över provytan genererar den röntgenfluorescens från atomerna i sin väg., Energin hos varje Röntgenfoton är karakteristisk för det element som producerade det. EDS-mikroanalyssystemet samlar röntgenstrålarna, sorterar och plottar dem med energi och identifierar och märker automatiskt de element som är ansvariga för topparna i denna energidistribution.
typiskt jämförs EDS-data med antingen kända eller datorgenererade standarder för att producera en fullständig kvantitativ analys som visar provkompositionen.
datautmatning inkluderar tomter av det ursprungliga spektrumet, som visar antalet röntgenstrålar som samlas in vid varje energi., Kartor över elementfördelningar över områden av intresse och kvantitativa sammansättningstabeller kan också produceras.