Energy dispersive spectroscopy (EDS) identificerer den elementære sammensætning af materialer afbildet i et scanningselektronmikroskop for alle elementer med et atomnummer større end bor. De fleste elementer detekteres ved koncentrationer i størrelsesordenen 0,1 procent.,Nant
driftsprincip
da elektronstrålen i sem scannes over prøveoverfladen, genererer den røntgenfluorescens fra atomerne i dens vej., Energien i hver Røntgenfoton er karakteristisk for det element, der producerede det. EDS-mikroanalysesystemet indsamler røntgenstrålerne, sorterer og plotter dem med energi og identificerer og mærker automatisk de elementer, der er ansvarlige for toppene i denne energifordeling.
typisk EDS-data sammenlignes med enten kendte eller computergenererede standarder for at fremstille en fuld kvantitativ analyse, der viser prøvesammensætningen.
data output omfatter plots af det oprindelige spektrum, der viser antallet af røntgenstråler indsamlet ved hver energi., Kort over elementfordelinger over områder af interesse og kvantitative sammensætningstabeller kan også fremstilles.