espectroscopia dispersiva de energia (EDS) identifica a composição elementar de materiais imagados em um microscópio eletrônico de varrimento para todos os elementos com um número atômico maior que o boro. A maioria dos elementos são detectados em concentrações na ordem de 0,1%.,nants
Princípio de Operação
Como o feixe de elétrons do MEV é verificado em toda a superfície da amostra, gera fluorescência de raios-X a partir de átomos em seu caminho., A energia de cada fóton de raios X é característica do elemento que o produziu. O sistema de microanálise EDS recolhe os raios-X, ordena e enrola-os por energia, e identifica e rotula automaticamente os elementos responsáveis pelos picos desta distribuição de energia.
Normalmente os dados EDS são comparados com padrões conhecidos ou gerados por computador para produzir uma análise quantitativa completa mostrando a composição da amostra.a saída de dados inclui gráficos do espectro original, mostrando o número de raios-X coletados em cada energia., Também podem ser produzidos mapas de distribuições de elementos sobre áreas de interesse e tabelas de composição quantitativa.